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薄膜厚度測(cè)量,模塊化設(shè)備.白光干涉膜厚儀,膜厚測(cè)量?jī)x
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金屬薄膜均勻性,測(cè)繪系統(tǒng),電阻率測(cè)量
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表面形貌測(cè)量,白光干涉輪廓儀,光學(xué)輪廓儀
薄膜力學(xué)測(cè)試儀,納米壓痕儀
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