HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀

HORIBA Smart SE橢圓偏振光譜儀是一種薄膜測(cè)量工具。僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制的解決方案。為薄膜測(cè)量設(shè)計(jì)，一鍵式操作。

產(chǎn)品名稱：橢圓偏振光譜儀
品牌： HORIBA
產(chǎn)品型號(hào)： Smart SE
產(chǎn)地：法國

詳細(xì)信息

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品介紹：

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀是一種薄膜測(cè)量工具。僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制的解決方案。為薄膜測(cè)量設(shè)計(jì)，一鍵式操作。

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

可在450nm~1000nm波長(zhǎng)內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量（<1秒）
多種光斑尺寸軟件選擇
自動(dòng)裝載和調(diào)整樣品高度（需自動(dòng)平臺(tái)）
大面積自動(dòng)成像（需自動(dòng)平臺(tái)）
溫控臺(tái)、液體樣品池、電化學(xué)反應(yīng)池、
密封氣體池、透過率曲線測(cè)量等多種附件

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

光斑可視系統(tǒng)：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀具備MyAutoView光斑可視系統(tǒng)，可清晰觀察光滑或粗糙的樣品表面，保證用戶可將測(cè)量光斑定位在樣品目標(biāo)上的測(cè)量位置。

智能診斷：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀儀器維護(hù)非常簡(jiǎn)單，借助完整的操作向?qū)?，自?dòng)檢測(cè)并診斷問題，對(duì)故障進(jìn)行處理

靈活多功能選項(xiàng)：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀的入射角度可調(diào)，且可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，具備靈活性。

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品測(cè)量原理：

HORIBA Smart SE 橢偏儀是利用薄膜的光學(xué)特性進(jìn)行膜厚測(cè)量的非接觸測(cè)量方法?；谄窆夥瓷浠蛲干鋾r(shí)的狀態(tài)變化來測(cè)量薄膜的厚度和折射率。當(dāng)偏振光照射到薄膜表面時(shí)，反射光或透射光的偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過分析這些變化，可以準(zhǔn)確地推導(dǎo)出薄膜的厚度。

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀軟件：

橢圓偏振光譜軟件DeltaPsi2功能豐富，它基于WindowsT操作系統(tǒng)，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光譜技術(shù)）橢偏儀硬件技術(shù)的特點(diǎn)，具有眾多建模和擬合處理功能，以及簡(jiǎn)單的操作界面，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。

梯度膜層
粗糙度或界面
材料組份/結(jié)晶度
各向異性膜層
薄膜厚度的不均勻性
退偏因子
與材料模型公式相關(guān)的完整的屬性數(shù)據(jù)庫
對(duì)于厚透明樣品基底背景光的自動(dòng)修正
周期變化結(jié)構(gòu)
用戶超薄薄膜應(yīng)用的BLMC算法
多重猜測(cè)、多重初值、多重模型、相關(guān)性……

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀常見應(yīng)用：

界面特性	表面測(cè)量	光學(xué)特性	厚度測(cè)量
非晶硅、多晶硅	粗糙度	光學(xué)常數(shù)（n，k）	從幾埃到15um
納米晶體硅	自然氧化物厚度	光學(xué)帶隙Eg	單層和多層膜
透明導(dǎo)電氧化物	表面薄膜厚度	透射率
增透膜	退偏系數(shù)
半導(dǎo)體	平板顯示	功能性涂料	生物和化學(xué)工程
介電薄膜	TFT	光學(xué)涂層	有機(jī)薄膜
金屬薄膜	OLED	增透型、自清潔型	薄膜吸附
高分子、光刻膠	等離子顯示板	表面鍍膜和處理	表面功能處理
PZT膜	柔性顯示板	有機(jī)材料