Film Sense FS-8 多波長橢偏儀
Film Sense FS-8多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)可靠地薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,就可以獲得準確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學常數(shù)和其他薄膜特性。
- 產品名稱: 多波長橢偏儀
- 品牌: Film Sense
- 產品型號: FS-8
- 產地: 美國
Film Sense FS-8多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)可靠地薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,就可以獲得準確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學常數(shù)和其他薄膜特性。
第四代FilmSense FS-8 多波長橢偏儀使用長壽命的LED光源和無移動部件的橢圓偏振探測器。在便攜的緊湊型系統(tǒng)中提供快速而可靠的薄膜測量。通過簡單的1秒測量,可以以很高的精度和準確度測定大多數(shù)透明薄膜的薄膜厚度和折射率,并對樣品進行光學常數(shù)、n&k值等薄膜性質的測量。
多個LED光源:4或8個,波長370-950nm,視系統(tǒng)而定
一體化設計:橢圓偏振探測器中無可移動部件
光源壽命長:>50,000小時),沒有耗時的對準或PM程序
測量速度快:10ms內的多波長數(shù)據(jù)
使用維護簡單:直接用瀏覽器即可訪問軟件界面,沒有復雜的軟件和維護,無外部電子設備盒或光纖連接。
FilmSense FS-8 多波長橢偏儀是利用薄膜的光學特性進行膜厚測量的非接觸測量方法。基于偏振光反射或透射時的狀態(tài)變化來測量薄膜的厚度和折射率。當偏振光照射到薄膜表面時,反射光或透射光的偏振狀態(tài)會發(fā)生變化,這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過分析這些變化,可以準確地推導出薄膜的厚度。
FilmSense FS-8 多波長橢偏儀在測量透明單層薄膜的厚度和折射率方面表現(xiàn)良好。上限厚度取決于橢偏儀系統(tǒng)(通常為2-5μm),但也取決于基底和薄膜的光學常數(shù)。與其他橢偏儀系統(tǒng)一樣,為了獲得準確的折射率測量結果,需要有較小薄膜厚度(通常為10nm)。
也可以測量光吸收薄膜,但由于需要薄膜光學常數(shù)(n和k值),數(shù)據(jù)分析變得更加復雜。FilmSense軟件包含多種確定n&k值的方法價值:
多樣本分析;
結合橢偏儀和透射率測量;
使用新型液體樣品池選項的浸入式橢偏儀;
分散模型。吸收膜的厚度上限與材料類型密切相關;對于金屬膜,上限通常為50納米。
FilmSense FS-8 多波長橢偏儀還可用于測量多層薄膜疊層(有時多達5層),具體取決于各層的厚度和折射率??梢栽?/span>FilmSense軟件中進行模擬,以確定特定樣品結構是否可行。對于某些樣品,還可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。
Wavelength(nm) | ||||||||||
System | Number ofWvls | 370 | 405 | 450 | 525 | 595 | 660 | 735 | 850 | 950 |
FS-1(gen.2&3) | 4 | X | X | X | X | |||||
FS-1EX(gen.2&3) | 6 | X | X | X | X | X | X | |||
FS-4(gen.4) | 4 | X | X | X | X | |||||
FS-8(gen.4) | 8 | X | X | X | X | X | X | X | X |
裝樣方式: | 手動 | 入射角: | 65° |
光束尺寸: | 4*9mm | 樣品尺寸: | 200mm |
占地面積: | 180*400mm | 重量: | 5kg |
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