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熱烈慶祝上海交大電子材料與器件校級平臺正式運行,優(yōu)尼康科技有限公司為該平臺提供了光學膜厚測量系統(tǒng)解決方案,用于測量各種介電材料如SiO2,SiNx等,以及光刻膠Photoresist的厚度。
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